光刻胶储存注意事项
p>一、光刻胶怎么保存
光刻胶的保存环境需要特别注意温度、光照、湿度和震动。建议将光刻胶存放在-20℃以下的低温环境中,使用冰箱储存,并避免温度波动。避免光刻胶直接暴露在强光下,可以使用黑色遮光袋或遮光箱保护。光刻胶应存放在干燥的环境中,使用密封袋或密封容器保护,避免受潮。光刻胶应避免剧烈震动,使用泡沫箱或其他缓冲材料保护。
二、光刻胶使用和储存注意事项
1. 保存
光刻胶中的光敏组分非常脆弱,储存时需注意温度、储存时间及外包装材料。一般使用棕色玻璃瓶包装,并套上黑色塑料袋。光刻胶的保存期限为6个月至1年,具体取决于光刻胶种类和保存条件。存放和使用光刻胶时,应注意保存期限,避免使用过期光刻胶。
2. 涂布温度
光刻胶涂布温度应与室温相同,一般为23度。在旋涂时,高于此温度会导致中间部分变厚,低于此温度则会导致中间部分变薄。涂布前,晶圆需置于冷板上,确保每次涂布时晶圆温度一致。
3. 湿度控制
光刻胶涂覆工段应与自动纯水清洗线相连,保证该段的洁净度。同时,湿度控制也很重要。若湿度控制不当,会导致光刻胶涂覆良品率降低,显影时光刻胶脱落严重,无法起到保护作用。
4. 涂胶后产品的放置时间控制
生产设备出现故障等情况下,涂完光刻胶的产品需保留,保留时间一般不超过8小时。若曝光前光刻胶已失效,则不能作为zhengpin,需返工处理。
发布时间:2025-01-06
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