光刻胶使用过程中的注意事项

1、保存:

光刻胶中的光敏组分是非常脆弱的,除了有温度的要求外,对于储存时间和外包装材料有很严格的要求。-般使用 棕色的玻璃瓶包装,套上艷塑料袋, 光刻胶确实是在半年内使用为好。过期后**同厂家沟通进行调换,因为只有生产商知道里面的组分,才能进行产品的重新调整。还有就是光敏组分是广谱接受光反应的,并环是仅仅紫外光能够使其失效,只是其它波长光需要的时间长而已。

2、光刻胶的涂布温度 :

光刻胶涂布温度一般要和你的室温相同 ,原因是与室温相同可以*大减少光刻胶的温度波动,从而减少工艺波动。 而净化间室温一般是23度 ,所以一般为23度, -般在旋涂的情况下,高于会中间厚,低于会中间薄。同时涂布前，wafer也需要冷板,保证每次涂布wafer的温度-致。

3、涂布时湿度的控制 :

现在光刻胶涂覆工段-般都与自动纯水清洗线连在一 起,很多时候都只考虑此段的洁净度,而疏忽了该段的湿度控制,使得光刻胶涂覆的良品率比较低,在显影时光刻胶脱落严重,起不到保护阻蚀的效果。

4、涂胶后产品的放置 时间的控制

在生产设备出现故障等特殊情况下,浣光刻胶的产品需要保留,保留的时间一般不超过8小时,曝光前如已被感 (即胶膜已失效) , 不能作为**,需返工处理。

5、前烘温度和时间的控制

前烘的目的是促使胶膜内溶剂充分挥发,使胶膜干燥以增强胶膜与基板表面的粘附性和胶膜的耐磨性。曝光时,掩模版与光刻胶即使接触也不会损伤光刻胶膜和沾污掩模膜,同时只有光刻胶干净、在曝光时,光刻胶才能充分地和光 发生反应。同时注意前烘的温度不能过高,过高会造成光刻胶膜的碳化,从而影响光刻效果。一般情况下 ,前烘的温度取值比后烘坚膜温度稍低-些,时间稍短-些。

6、显影条件的控制

显影时必须控制好显影液的温度、浓度及显影的时间。在-定浓度下的显影液中,温度和时间直接影响的速度,若显影时间不足或温度低,则感光部位的光刻胶不能够完全溶解,留有-层光刻胶,在刻蚀时,这层胶会对膜面进行保护作用,使应该刻蚀的膜留下来。若显影时间过长或温度过高,显影时未被曝光部位的光刻胶也会被从边缘里钻溶。使图案的边缘变差,再严重会使光刻胶大量脱落,形成脱胶。

光刻胶储存冰箱-工业冰箱-工业冷柜

额定电压：AC220V

2.箱体尺寸(mm)：1265×680×2150mm

☆3.有效容积：≥1028L

☆4.温度范围：2～48℃每一度可调控

5.净重：268kg。

☆6.产品结构为立式箱体。主体分为四部分：电气控制系统，制冷系统、制热系统显示系统。

7.箱体内部采用高密度聚氨酯整体发泡，具有重量轻、保温性能好等特点。

8.智能温控系统，微电脑温度控制器，数码显示，具有高低温报警、温感器故障报警和断电报警功能，防止出现意外。

9.精准温感探头，自动显示箱体内部温度、湿度，便于随时观察箱体内温湿度变化。

10.采用新型风道设计，高钢快速风扇，厚壁快速导冷铜管，温度精准度高。

11.制冷系统合理，采用强制空气循环，确保箱体内恒温无死角。降温速度快，设定的温度在短时间里，即可达到设置温度要求。

12.使用双层高强度钢化玻璃，保温效果好，透明度高，便于随时观察箱体内部存放的物品。

13.采用思科普压缩机，运转平衡，噪音低，使用寿命长。

14.箱体采用优质的彩涂板，经先进防腐化喷涂工艺，表面色泽柔和，内部隔层可任意放宽和缩小，便于存放不同物品。

15.箱体内部具备照明设施，方便夜间观察储存的物品。

☆16.安全双门锁设计，实现双人双管，防止随意开启。

17.箱体底部选用超出普通万向轮承载量2倍的优质脚轮, 止动底脚方便使用。

☆18、厂家具有ISO14001、ISO9001认证