光刻胶的保存要求

我们在使用光刻胶的时候往往关注的重点是光刻胶的性能，但是有时候我们会忽略光刻胶的保存和寿命问题，其实这个问题应该在我们购买光刻胶前就应该提出并规划好。并且，在光刻过程中如果发现有异常情况发生，我们通常要考虑光刻胶是否过期失效了。接下来我们将介绍一下光刻胶保存和老化失效的基础知识。

光刻胶的保存

光刻胶对光敏感，在光照或高温条件下其性能会发生变化。光刻胶在储存过程中会老化，因此通常保存在防光的棕色玻璃试剂瓶中（部分电子束胶由于对紫外波段不感光，有可能直接使用白色塑料瓶包装），冷藏保存，并且紫外光刻胶只能在黄光（λ> 500 nm）下进行处理。通常一款光刻胶的失效日期和建议的存储温度会标注产品标签上。如果保持在这些温度下，未开封的光刻胶将稳定到有效期（通常是生产后的2年，视产品不同略有不同）。通常光刻胶销售时会有一个承诺有效日期，这个日期往往会小于瓶示质保期。需要区分。

温度：对于绝大多数紫外光刻胶而言，通常建议的保存条件是5-10℃下保存（除制造商要求的特殊保存温度外）。如果未打开的瓶子在低于zuijia温度的条件下（例如，在5 – 8°C的温度下与建议的10 – 18°C的温度相比）存储，则可以使一些光刻胶，在超过其有效期限外还可以保持光刻胶的特性并使用。

如果频繁打开光刻胶试剂瓶会导致溶剂蒸发，光刻胶会增稠并因此产生较厚的膜。对于膜厚为1.4 µm的光刻胶，仅损失1％的溶剂就已经导致4％的膜厚，因此带来的影响是需要更高的曝光剂量。所以建议按照实际使用的量进行购买相应包装规格的光刻胶。

如果已经购买了较大包装的光刻胶，可以分装在干净的小瓶中，减小光刻胶开盖次数，大瓶子应该密封好并保存于冷藏室中。另外，小瓶光刻胶可以使用锡箔纸包裹，并备注好相关信息存储。瓶子的清洗步骤：①丙酮(去除有机杂质);②异丙醇(清洗污染的丙酮残留物)。挥发较慢的异丙醇会破坏光刻胶，因此在装入光刻胶之前必须保证瓶中无异丙醇残留。

试剂瓶的选择：只有合适的塑料(无染色的特氟龙，无增塑剂的HD-PE)或低钠玻璃容器可用于储存、转移和分配光刻胶。光刻胶分装后到使用前，根据粘度的不同，建议等待几个小时，以便引入的气泡能够脱气，从而避免在在涂胶时出现气孔等缺陷。